在晶瑞(湖北)微电子材料有限公司的生产厂区,一辆辆装载电子级双氧水的罐车正整装待发。这些看似普通的液体,实则是芯片制造不可或缺的“血液”,承担着晶圆表面清洗、杂质去除等关键使命,是芯片制造的幕后“超级清洁工”。 “生产一瓶符合芯片制造要求的超净高纯双氧水,难度堪比在针尖上跳舞。”该公司总经理沈健用这个比喻道出了技术难度。传统双氧水生产工艺无法满足芯片制造对纯度G5的苛刻要求。面对这一难题,该公司创新采用多孔树脂吸附技术。“这就好比给双氧水准备了一块神奇的‘净化海绵’,再搭配七级纯化工艺,杂质在这样层层递进的净化过程中被逐一去除,从而让双氧水达到芯片生产所需的超高纯度标准。” 走进企业智能控制中心,大屏幕上跳动的数据揭示着生产的奥秘。“这套‘智慧中枢’可厉害了,产品的稳定性都靠它了。”沈健指着屏幕向记者介绍,它通过数百个传感器实时监测生产数据,一旦有机物或离子浓度出现波动,系统会自动调整流速、修正参数,让产能提升的同时保证产品的稳定性。 “芯”火燎原。在潜江,除了晶瑞的电子级双氧水,中巨芯的电子级硫酸、达诺尔的电子级异丙醇同样表现卓越,不仅完成了G5品质的稳定量产,更是实现了G5pro、G6品质的定制,让高端芯片生产用上了国产“纯净水”,打破了国外在相关领域的技术垄断。 当前,在潜江,微电子材料产业“磁吸效应”显现,北旭电子、鼎龙控股、孚诺林、中巨芯、达诺尔等一批微电子材料企业加速集聚。它们的产品覆盖湿电子化学品、光刻胶材料等关键领域,与京东方、华星光电、天马微电子等行业巨头形成配套产业链,填补了湖北省在高端电子化学品领域的空白。(周雯、张隽、张沛、王郭骥)
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📸 武育记者 许永刚 摄
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📸 曹喜中记者 武雷迎 摄
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